在半導體制造領域,過濾系統的性能直接關系到芯片成品的質量與可靠性。隨著芯片工藝不斷升級,對過濾材料的精度、通量和耐久性提出了更高要求。以大連義邦推出的DEXMET PFA全氟過濾支撐網為代表的新一代過濾支撐材料,憑借其卓越的耐腐蝕性、高純度和優良的物理性能,正在成為高端芯片制造環節中不可或缺的關鍵組件。
PFA過濾網的行業優勢與顯著特性
PFA(全氟烷氧基)材料以其極強的化學惰性和耐腐蝕能力,在苛刻環境下依然能保持材料穩定性,不易被強酸、強堿等腐蝕性介質侵蝕。這一特性對于半導體生產線至關重要,因為在光刻、蝕刻、CMP等工藝中,常常需要處理大量高純度化學品和清洗液,普通材料難以勝任,而PFA過濾網則能有效抵御這些化學物質的侵蝕,延長過濾系統的使用壽命,減少維護成本。
此外,PFA過濾網具備極低的摩擦系數和優異的自潤滑性能,能有效降低顆粒在過濾過程中的附著,減少堵塞現象,提升過濾效率和通量。其高純度特性也能最大限度地避免二次污染,幫助企業維持超潔凈的生產環境,保障芯片良率。
高精度與創新工藝帶來的突破
與傳統編織網相比,DEXMET PFA全氟過濾支撐網采用先進的延展工藝,通過定制精密模具沿單一方向精確撕裂和拉伸,實現了高過濾精度與大通量的完美結合。該工藝不僅保證了支撐網結構的均勻性和穩定性,還能實現0.1mm及以下的過濾精度,滿足半導體行業對微米級顆粒的嚴格攔截需求。
目前,在國際上,除了DEXMET,其它供應商還無法實現0.1mm厚度的工業化量產。這種延展網是由定制的精密模具沿一個方向撕裂和拉伸而成。DEXMET是少數能夠穩定生產高純度PFA和PTFE聚合物延展網的國際供應商之一。這種高精密支撐層具有極強的化學穩定性、耐腐蝕性,良好的自潤滑性和極低的摩擦系數,使得過濾磨損極小。
Dexmet PFA延展過濾網的應用
目前,大連義邦的Dexmet PFA延展過濾支撐網贏得了全球領先過濾制造商的青睞,包括Pall集團等行業巨頭的信任。這種過濾網代表了過濾技術的創新,提供了行業領先的精度、耐用性和性能。通過將這些先進的過濾器集成到生產流程中,制造商能夠實現生產高質量、可靠半導體芯片所需的超潔凈環境。
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